반도체 제조에 사용되는 순수한 물, ‘초순수’
반도체 제조에 있어서 물은 필수적인 요소입니다. 때문에 일반적으로 반도체 사업장은 용수 공급이 원활한 곳에 자리잡고 있습니다. 반도체 공정에서 물은 주로 반도체 제조 공정, 공정 가스 정화(Scrubber), 클린룸의 온/습도 조절 등에 사용되는데요. 이번 시간에는 초미세 반도체 제조 공정에 사용되는 물, 바로 '초순수'의 개념에 대해 알아보겠습니다. 반도체와 물, '초순수'란 무엇일까? 초순수(UPW, Ultra Pure Water)란 일반적인 물 속의 무기질, 미립자, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등을 제거한 고도로 정제된 물입니다. 이온 성분을 제거했다는 의미로 DIW(De-ionized Water) 라고도 합니다. 반도체는 이른바 8대공정이라고 불리는 수많은 공정을 반복적으로 거치는데요. 초순수..
