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[인생맛칩 Ep.8] 하루에 8시간 씻어 보셨나요? 웨이퍼 오염물 철벽 방어, 세정 공정 파헤치기
웨이퍼는 반도체 제조를 위해 수백 단계의 공정을 거칩니다. 이렇게 각 공정을 거칠 때마다 웨이퍼 위에는 각종 파티클이나 잔류 유기물, 금속 찌꺼기등의 불순물이 불가피하게 남게 되고 이는 제품의 수율이나 신뢰성에 문제를 일으킬 수 있기 때문에, 웨이퍼는 ‘세정 공정’을 반드시...
반도체 품질을 올리는 잔류물 청소반, 세정공정이란?
웨이퍼 한 장이 반도체로 탄생하기 위해서는 짧게는 한 달, 길게는 두 달의 시간 동안 확산공정, 포토공정, 식각공정, 증착공정, 이온주입공정 등을 수백 여 단계의 공정을 거치게 됩니다. 이때 확산공정, 식각공정, 연마공정 등 각 공정과 공정 사이에 반복적으로 진행되는 중요한...
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